用于TOPCon, XBC, TOPCon+HJT等高效電池技術路線的應用
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All-in-one 鍍膜技術，可在同一工藝管內(nèi)連續(xù)完成超薄隧穿氧化層，非晶硅層，原位摻雜多晶硅層以及原位掩膜層的沉積，極大地簡化了生產(chǎn)工藝
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優(yōu)異的溫度控制和等離子控制系統(tǒng)，搭配超高載片量的石墨舟設計，在確保設備產(chǎn)能的同時大幅提升電池轉換效率
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精準制備 SiOx/Poly-Si(n+),Poly-Si(i),Poly-Si(p+),SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等疊層膜，優(yōu)異的薄膜厚度均勻性
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多晶硅原位摻雜濃度（1E20~1E21）可調(diào)
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針對新型PE-TOPCon電池技術核心的隧穿氧化層與多晶硅薄膜研發(fā)了可鍍導電膜、原位摻雜與無爆膜的管式PECVD ToxPoly同管集成技術，研究成果被廣泛轉載并成功完成產(chǎn)業(yè)化，受到了行業(yè)的認可，市場占有率快速攀升
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