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iTomic? HiK系列原子層沉積系統(tǒng)
iTronix?系列化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
iTomic? MW系列批量式原子層沉積系統(tǒng)
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iTomic? HiK系列原子層沉積系統(tǒng)
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iTomic? Lite系列輕型原子層沉積系統(tǒng)
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iTronix?系列化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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iTomic? HiK系列原子層沉積系統(tǒng)
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其他
Trancendor?晶圓真空傳輸系統(tǒng)
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祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
正膜Al?O?/SiN?
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
正膜Al?O?
夸父?系列KF20000批量式ALD系統(tǒng)
背膜SiN?
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統(tǒng)
阻隔封裝
電子傳輸層 SnO?
界面層/封裝層 AIO?
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
iOptomic 系列原子層沉積系統(tǒng)
iTomic? PE系列等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)
后羿?系列 板式ALD系統(tǒng)
iSparol系列卷對卷ALD系統(tǒng)
iTomic? MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統(tǒng)
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
iTomic? MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統(tǒng)
iTomic? MW Lite批量輕型系列ALD系統(tǒng),設(shè)備以國產(chǎn)化零部件為主導(dǎo),可滿足高端研發(fā)和新工藝試量產(chǎn)需求,尤其適用于新型太陽能電池以及顯示行業(yè)應(yīng)用。
銷售郵箱
semisale@leadmicro.com
產(chǎn)品特點
采用最新自主設(shè)計開發(fā)的模塊化自動平臺 與ALD反應(yīng)腔
1
實現(xiàn)可自由選擇的半自動或全自動ALD系統(tǒng)
2
滿足各類晶圓尺寸(4、6英寸)的工藝需求,適用于客戶高端研發(fā)和新工藝開發(fā)
3
4寸晶圓可實現(xiàn)單批次裝載450pcs
4
薄膜均勻性優(yōu),可實現(xiàn)片內(nèi)<1.5%
5
滿足供應(yīng)鏈高比率國產(chǎn)化需求
6
前臺熱線:
0510-81975900
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