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CN
創(chuàng)新驅(qū)動
以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心
化學(xué)氣相沉積（CVD）等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展

原子層沉積 (ALD)技術(shù)：

可在復(fù)雜形貌上完成可控制在原子層精度的高質(zhì)量薄膜沉積

具有：

三維共形性，廣泛適用于不同形狀的基底

大面積成膜的均勻性，且致密、無針孔

可實現(xiàn)亞納米級的薄膜厚度控制

精確控制納米疊層和原子摻雜比例

視頻播放

研發(fā)創(chuàng)新

4億

+

研發(fā)投入/營收

56200

㎡

生產(chǎn)研發(fā)基地

3000

+

專有技術(shù)（項）

27%

+

研發(fā)人員占比

核心技術(shù)團(tuán)隊

專業(yè)團(tuán)隊

行業(yè)權(quán)威，擁有數(shù)十年ALD+CVD應(yīng)用開發(fā)經(jīng)驗

工藝開發(fā)

團(tuán)隊工藝開發(fā)經(jīng)驗豐富，已開發(fā)應(yīng)用數(shù)10種氧化物，氮化物，金屬等材料

專精ALD廠商

專業(yè)ALD

專注ALD工藝和應(yīng)用場景，涵蓋半導(dǎo)體、新型顯示、新能源等行業(yè)

專業(yè)解決方案

針對客戶不同需求，專業(yè)化和定制化提出解決方案

國內(nèi)領(lǐng)先前瞻應(yīng)用定制化

前瞻應(yīng)用

精通ALD前瞻應(yīng)用，滿足客戶各類先進(jìn)性產(chǎn)品的需求

定制開發(fā)

精通ALD工藝及應(yīng)用場景，為客戶定制化開發(fā)可量產(chǎn)的工藝及設(shè)備

國內(nèi)唯一全場景Demo設(shè)備線

全場景Demo

全場景Demo經(jīng)驗豐富，為客戶提供全方位解決方案支持

量產(chǎn)經(jīng)驗

在邏輯、存儲、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域經(jīng)過量產(chǎn)驗證，并獲得重復(fù)訂單

智造創(chuàng)新

我們推行精益生產(chǎn)管理，搭建智能制造協(xié)同平臺（簡稱MES），采用Smart Lable等智能工廠物流系統(tǒng)，實現(xiàn)了生產(chǎn)計劃排程、生產(chǎn)進(jìn)度實時分析、生產(chǎn)資源有效分配、 產(chǎn)品質(zhì)量安全追溯等，進(jìn)一步縮短采購周期、提升生產(chǎn)效率、降低經(jīng)營成本，以數(shù)字化、智能化制造賦能創(chuàng)新發(fā)展。

半導(dǎo)體設(shè)備規(guī)劃產(chǎn)能

總面積≈5000㎡，共三期
年產(chǎn)能：140套

光伏設(shè)備規(guī)劃產(chǎn)能

總面積≈20000㎡
月產(chǎn)能：ALD主機(jī)+自動化，40臺
擴(kuò)散/poly/退火/ALD/管P，60臺

服務(wù)創(chuàng)新

我們始終堅持以客戶為中心的服務(wù)理念，發(fā)揮本土供應(yīng)商的優(yōu)勢，為客戶提供量身定制的全方位服務(wù)，持續(xù)幫助客戶優(yōu)化系統(tǒng)性能，減少成本，快速響應(yīng)市場需求。
提供專用/定制工具
1/7
質(zhì)保期內(nèi)365天*24小時技術(shù)支持
2/7
立即響應(yīng)客戶端需求，重大疑問2小時內(nèi)給出解決方案，24小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場處理
3/7
客戶端設(shè)立備件庫，關(guān)鍵/易損部件備貨100%，非常規(guī)件到達(dá)現(xiàn)場<36小時
4/7
質(zhì)保結(jié)束后，每年現(xiàn)場協(xié)助客戶設(shè)備巡檢2次，軟件終身免費升級
5/7
項目有專職工程師跟蹤服務(wù)，專業(yè)專一
6/7
長期保存圖紙，20年零部件供應(yīng)，解決后顧之憂
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