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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品技術(shù)
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
我們以公司現(xiàn)有技術(shù)為基礎(chǔ),圍繞國產(chǎn)化替代的戰(zhàn)略需求,結(jié)合行業(yè)內(nèi)最前沿的技術(shù)發(fā)展趨勢和市場需求,針對先進技術(shù)和工藝性能,搭建研發(fā)平臺、高端研發(fā)人才培養(yǎng)平臺以及未來新項目、新企業(yè)發(fā)展孵化器。 產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心使公司具有前瞻應(yīng)用定制化能力,可為客戶提供全場景 Demo 設(shè)備線,從而能夠及時響應(yīng)客戶的各類需求,為客戶提供全方位的解決方案。
工藝開發(fā)能力
專業(yè)團隊
人員配置齊全
涵蓋物理、化學(xué)、材料、半導(dǎo)體、微電子等專業(yè)
成功案例
工藝開發(fā)經(jīng)驗豐富
已成功開發(fā)出10余種氧化物、氮化物及金屬材料
量產(chǎn)工藝
熟悉ALD工藝及應(yīng)用場景
可針對客戶和市場需求開發(fā)可量產(chǎn)工藝
前瞻應(yīng)用
具備豐富的行業(yè)上下游知識儲備
掌握國際領(lǐng)先的ALD技術(shù)
產(chǎn)學(xué)研合作
Demo管控
客戶Demo經(jīng)驗豐富,為量產(chǎn)方案提供專業(yè)性支持
專業(yè)解決方案
針對客戶需求,可專業(yè)化定制解決方案
產(chǎn)品特性
熟悉ALD制備的薄膜特點,深入掌握其功能性應(yīng)用
行業(yè)經(jīng)驗
熟悉ALD工藝及應(yīng)用場景,涵蓋半導(dǎo)體、光伏、新材料、新能源等領(lǐng)域
學(xué)術(shù)合作
與上海交通大學(xué)、南京大學(xué).芬蘭赫爾辛基大學(xué)等知名院校建立良好合作關(guān)系,共同推進ALD 技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展
產(chǎn)品展示
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
晶圓類基底
致力于開發(fā)高介電常數(shù)、金屬化物等客戶制程所需的薄膜材料,存儲器MIM等薄膜材料;擴展性開發(fā)低溫氧化硅、氮化硅,以及其他薄膜材料滿足各類客戶需求。
晶圓封裝
晶圓類基底
致力于開發(fā)開發(fā)阻水功能薄膜,提升器件可靠性; 涉及領(lǐng)域包括OLED、Mini-LED、Mirco-LED等光電顯示領(lǐng)域
柔性封裝
非晶圓類基底
針對柔性基底,致力于開發(fā)阻水阻氧層、減反層、增透層、透明導(dǎo)電層、介電層等功能薄膜; 涉及領(lǐng)域包括顯示的柔性封裝阻水阻氧保護層,新型顯示器件的包覆層等。
粉末包覆
非晶圓類基底
致力于開發(fā)離子導(dǎo)電界面層,人工SEI膜保護膜,鋰電池正、負極保護膜,量子點/微球顆粒鈍化膜、微納催化顆粒保護膜等; 涉及領(lǐng)域包括液態(tài)、半固態(tài)及全固態(tài)電解質(zhì)動力鋰電池制造領(lǐng)域,光電器件領(lǐng)域中的量子點包覆、各類微納催化劑顆粒包覆等。
鈣鈦礦光伏
非晶圓類基底
致力于開發(fā)電子傳輸層、空穴傳輸層,界面修飾層、水氧阻隔等功能膜層。涉及領(lǐng)域包括晶硅鈣鈦礦疊層電池、單結(jié)鈣鈦礦電池、雙結(jié)鈣鈦礦電池、全柔鈣鈦礦電池。
光學(xué)減反
非晶圓類基底
致力于開發(fā)高低折射率透明氧化物膜層、新結(jié)構(gòu)漸變折射率氧化物膜層,實現(xiàn)在420~680波段反射率<0.1% 。涉及領(lǐng)域包括傳統(tǒng)光學(xué)、SWC光學(xué)鏡頭。
TFT功能層
非晶圓類基底
致力于開發(fā)高載流子遷移率金屬氧化物薄膜,針對器件不同需求,調(diào)節(jié)載流子遷移率可調(diào),提升器件性能。涉及領(lǐng)域包括OLED、TFT等光電顯示領(lǐng)域。
共同合作研發(fā)
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