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CN
產(chǎn)品技術
其他
Trancendor?晶圓真空傳輸系統(tǒng)
Trancendor?平臺系列是微導納米獨立研發(fā)的、適用于高產(chǎn)能半導體制程設備的晶圓傳輸系統(tǒng)。該系統(tǒng)可根據(jù)客戶工藝需要，靈活掛載一至多個工藝腔體（每個工藝腔體可配備一至多個工作站）在真空環(huán)境下進行快速高效晶圓傳輸。
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產(chǎn)品特點
?針對各種機械運動產(chǎn)生的顆粒、金屬污染等嚴苛需求，進行特殊設計，可有效避免晶圓表面微塵和金屬污染
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提升平臺的產(chǎn)能輸出的設計
2
提升系統(tǒng)服務性的特殊設計
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具備晶圓傳輸位置的自動校準功能，確保傳送精確度和工藝均勻性等要求
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