采用最新自主設(shè)計(jì)開發(fā)的模塊化自動(dòng)平臺(tái) 與ALD反應(yīng)腔
1
實(shí)現(xiàn)可自由選擇的半自動(dòng)或全自動(dòng)ALD系統(tǒng)
2
滿足各類晶圓尺寸(4、6英寸)的工藝需求，適用于客戶高端研發(fā)和新工藝開發(fā)
3
4寸晶圓可實(shí)現(xiàn)單批次裝載450pcs
4
薄膜均勻性優(yōu)，可實(shí)現(xiàn)片內(nèi)<1.5%
5
滿足供應(yīng)鏈高比率國產(chǎn)化需求
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