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CN
產品技術
產業化應用中心
iTomic? MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
iTomic? MW Lite批量輕型系列ALD系統，設備以國產化零部件為主導，可滿足高端研發和新工藝試量產需求，尤其適用于新型太陽能電池以及顯示行業應用。
銷售郵箱
semisale@leadmicro.com
產品特點
采用最新自主設計開發的模塊化自動平臺 與ALD反應腔
1
實現可自由選擇的半自動或全自動ALD系統
2
滿足各類晶圓尺寸(4、6英寸)的工藝需求，適用于客戶高端研發和新工藝開發
3
4寸晶圓可實現單批次裝載450pcs
4
薄膜均勻性優，可實現片內<1.5%
5
滿足供應鏈高比率國產化需求
6