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CN
產(chǎn)品技術(shù)
背膜SiN?
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統(tǒng)突破性解決傳統(tǒng)管式PECVD的產(chǎn)能瓶頸，可與微導(dǎo)納米ALD鈍化技術(shù)無縫對接，確保PERC、TOPCon、XBC等高效電池生產(chǎn)。以先進(jìn)技術(shù)和裝備高度集成，形成高質(zhì)量、高產(chǎn)能、低成本的產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于 PERC, PERT, TOPCon, XBC 等高效電池技術(shù)的應(yīng)用
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優(yōu)異的溫度和等離子體控制系統(tǒng)與高載片量，輔助搭配 ALD 鈍化薄膜，提升效率與降低生產(chǎn)成本
2
精準(zhǔn)制備 SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等復(fù)合鈍化膜，精準(zhǔn)控制各層光學(xué)參數(shù)與厚度
3
優(yōu)異的薄膜厚度均勻性
4